半導体製造装置ソフトウェアパッケージHT-CIM

既存の半導体製造装置をGEM300準拠の装置へアップグレード

「現状の半導体製造装置はそのままに、簡単にGEM300準拠対応にできないだろうか?」

HT-CIMは、新規装置への導入はもちろん、既存の半導体製造装置もSEMI標準のGEM300に準拠した装置にアップグレードできるソフトウェアパッケージです。実績豊富な半導体製造装置ソフトウェアのスペシャリストが、装置にあわせたソフトウェア導入をご提案いたします。

HT-CIMの概要

半導体製造装置をオンライン対応するためのソフトウェアパッケージです。既存の装置を、簡単にSEMI標準のGEM300(注 1)準拠にアップグレード。当社開発のため、お客様の装置側のインターフェースにも柔軟に対応可能です。

当パッケージのUI(ユーザーインターフェース)は、優れた視認性と操作性を備えております。特別なトレーニングの必要がなく、どなたでも簡単に操作ができます。UIについては、将来、日本社会における人手不足問題解決の一助となる可能性もあり、今後さらに重要視される分野です。ユーザーの習熟度に左右されることのない操作性や、グローバルな環境でも操作が可能なインターフェースを提供しております。

中国市場への導入を視野に入れている企業様には、導入コンサルティングサービスの提供も可能です。現地サポートも含めて安心してお任せください。

注1:GEM300は、通信により半導体製造装置を自動運転するための制御と管理に関するSEMI(国際半導体製造装置材料協会)規格の一つ

機能

HTCIM機能
機能ブロック図

スタンダード機能

以下のような機能を標準でサポートしております。

  • SECS-Ⅰ/HSMS通信
  • GEM300に準拠したライブラリーを実装(フルGEM)
  • ホストからのプロセスジョブ、コントロールジョブの作成
  • プロセスジョブ、コントロールジョブの盛業及び状態管理
  • キャリア、ウェハーの状態、位置管理
  • キャリア、スロットマップの照合管理
  • ロードポート状態の管理
  • 各種PLC装置インターフェース

カスタマイズ機能

当ソフトウェアパッケージは、お客様のPLC装置用のインターフェースを基に、ご要望に合わせてカスタマイズしております。当社による開発品のため、お客様とのインターフェースに柔軟に対応することが可能です。

経験豊富な半導体製造装置専門のスペシャリストがサポートいたしますので、ご不明点やお困りの事など何でもご相談ください。

特長

カスタマイズとサポート

カスタマイズ&サポート

各種PLC装置側のインターフェースに合わせて、カスタマイズするフレームワークをご提供しております。豊富な実績をもつスペシャリストが、お客様の装置やご要望にあわせて、最適なご提案をいたします。

大手半導体製造会社へ長年ソフトウェアを提供し、GEM300を熟知しておりますので、カスタマイズもサポートも安心してご相談ください。

中国への導入をご検討の場合も、現地でのサポートも含めワンストップで導入をコンサルティングいたします。

  

SEMI Standard

SEMI通信規格対応

ほぼ全ての機種をカバーした、300mmオンラインシナリオに対応するプログラミングインターフェースを提供します。複雑なSEMI標準規格を意識することなく、お使いのアプリケーションを利用して簡単に実装。製造コストの削減、信頼性と生産性の向上に貢献します。

  • HOST通信は、SECS、HSMS、GEM300準拠のオンラインインターフェースにアップグレード
  • 複雑なSEMI標準規格を意識することなく、 お使いのアプリケーションを利用して簡単に実装
  • ラーニング期間や、通信仕様書作成期間を短縮して工数を削減
  • 製造コストの削減、信頼性と生産性の向上に貢献

HT-CIMが対応するSEMI標準規格一覧

SEMI規格
SEMI E4 SECS-I (Serial protocol) 
SEMI E5 SECS-II (Serial protocol) 
SEMI E30 包括的装置モデル(GEM)
SEMI E37 HSMS-SS(Ethernet protocol) 
SEMI E39 オブジェクトサービススタンダード(OSS)
SEMI E40 プロセスジョブ管理(PJM)
SEMI E87 キャリア管理スタンダード(CMS)
SEMI E90 基板トラッキング(STS) 
SEMI E94 コントロールジョブ管理(CJM)

SEMI会員

当社は、SEMI会員として標準化活動に積極的に参加し、製造にフィードバックしております。

SEMI会員一覧の当社ページを見る

  

直観的で操作性に優れたユーザーインターフェース

ユーザーによるエラーの認識が容易で、診断や回復操作をスムーズにサポートできるユーザーインターフェースを提供しております。

  • システム状態の視認性の向上
  • 経験・習熟度に左右されない操作性
  • グローバルな環境での操作性
  • 誤操作の減少

  

半導体製造装置ソフトウェア導入コンサルティングサービス

半導体製造装置ソフトウェアの導入コンサルティングサービスをご提供しております。導入前、導入後のいずれの場合にも可能です。運用中のフォローアップも適切に対応いたします。

中国市場への導入コンサルティング

半導体の生産能力が急成長している中国市場への参入を検討している、もしくは既に参入したが問題を抱えている企業様に、コンサルティングサービスを提供いたします。

当社は、中国におけるパートナー企業である『 大連共創軟件有限公司 (本社:遼寧省大連) 』と共同開発を長年行ってきた実績がございます。中国でのフォロー体制も整っておりますので、安心してお任せください。

HTCIM中国語カタログ
HT-CIM中国版カタログ

中国市場でのHT-CIMの提供

日本だけでなく、中国市場でも HT-CIM を提供しております。コンサルティングサービスとあわせてご利用いただくことも可能です。

現地でのサポート体制も完備しているので、安心です。

HTCIMセミコン開催報告

セミコンチャイナへの出展

セミコンチャイナへ出展しております。詳細は、出展記事をご覧ください。

SEMICON CHINA出展記事を見る

動作環境

動作に必要な環境は以下の通りです。特殊な環境は必要ありません。

ハードウェア
CPU:Intel Core i3 2GHz以上
メモリ:4GB以上
HDD:100GB以上

OS
Windows 7
Windows 10

開発環境
C# .NET Framework

お問い合わせ

GEM300準拠の半導体製造装置ソフトウェアパッケージHT-CIMは、豊富な実績のあるスペシャリストが対応いたします。ご不明な点がございましたらお気軽にお問い合わせください。